特許
J-GLOBAL ID：201103079779964735
ファイルサーバを利用した自動化システムとその制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 由己男
, 稲積 朋子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-119062
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340110
特許番号：特許第4644322号
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 作業物に対してそれぞれ作業を行い、前記作業物を検査するための検査器と、前記検査器からの検査結果に基づいて前記作業物を補修するための補修器と、を含む複数の装置と、
前記装置とネットワークを介して接続され、前記装置における作業結果データを保存することで前記作業結果データを前記装置が共有可能にするものであって、全ての装置に関する作業結果データおよび各装置に関する作業結果データを加工したデータを保存するファイルサーバと、
前記装置と接続され、それぞれの装置を制御する装置サーバと、
前記装置サーバとネットワークを介して接続され、前記装置に必要な作業情報を有しており、該当装置に必要な作業情報を前記装置サーバに提供するホストと、
を備え、液晶表示装置の製造に用いられる自動化システム。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, G02F 1/13 ( 200 6.01)
H01L 21/02 Z
, G02F 1/13 101
