プロービングカード

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小原肇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-049171
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241457
特許番号：特許第4414502号
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被検査体に形成された複数の素子にそれぞれプローブを接触させて上記各素子の電気的特性検査を行うプロービングカードにおいて、上記プローブは、基板上に設けられた柱状突起と、この柱状突起の上端面の中央から偏った位置に固定されたスペーサと、このスペーサの上端面に一端が固定され且つ他端が上記スペーサから上記柱状突起の上端面の中央部から離間した位置まで延設されたバネ性を有する渦巻状プレートと、この渦巻状プレートの他端に固定された接触端子とを有し、上記渦巻状プレートの他端が自由端として形成されてなることを特徴とするプロービングカード。

IPC (2件)：