基板収納ポッドおよびその蓋部材並びに基板の処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：岡部讓 , 岡部正夫 , 臼井伸一 , 越智隆夫 , 吉澤弘司 , 齋藤正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-041768
公開番号（公開出願番号）：特開2011-181561
出願日： 2010年02月26日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：

【課題】乱れの無い安定した層流状態の置換ガスの流れを得るには、供給管における置換ガスの圧力変動を断つ必要がある。【解決手段】基板を収納するための中空部と開口とを有する本体容器と、該開口に挿嵌され、該開口を密閉可能な蓋部材と、該蓋部材の内部に画定されるバッファ空間と、該バッファ空間に置換ガスを供給するための給気ポートと、前記本体容器の開口に挿嵌された状態において、該本体容器の中空部に対向する該蓋部材の内面と該バッファ空間との間に連通するように配置され、該バッファ空間に供給された置換ガスを該中空部に送出する複数の孔とを備える基板収納ポッドにより解決する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を収納するための中空部と開口とを有する本体容器と、該開口に挿嵌され、該開口を密閉可能な蓋部材と、該蓋部材の内部に画定されるバッファ空間と、該バッファ空間に置換ガスを供給するための給気ポートと、該蓋部材が前記本体容器の開口に挿嵌された状態において、該本体容器の中空部に対向する該蓋部材の内板に、該蓋部材の内板と該バッファ空間との間に連通するように穿設される複数の孔であって、該バッファ空間に供給された置換ガスを該中空部に送出す複数の孔とを備えることを特徴とする基板収納ポッド。

IPC (2件)：

H01L 21/673 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T , B65D85/38 R

Fターム (14件)：

3E096AA04 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA02 , 3E096CA08 , 3E096CB03 , 3E096DA17 , 3E096FA11 , 3E096FA15 , 3E096FA16 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031NA04 , 5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (9件)

基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-186768 出願人：株式会社東芝
基板搬送容器および基板搬送容器内空間のガス置換方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-097082 出願人：株式会社住化分析センター
摩擦を生じないドア部材を有する基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-266077 出願人：奇美電子股ふん有限公司

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