走査型露光装置及び走査露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：開口宗昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109506
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299279
特許番号：特許第3304917号
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光源からの光の走査方向と直交する非走査方向に光の透過率が変化せしめられ,光源からの光の走査方向に光の透過率が一定値にされる光学フィルターをレチクル面への光の入射側の所定の位置に設けられて成ることを特徴とする走査型露光装置。

IPC (2件)：