石英ガラスルツボおよびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：波多野久 , 関口俊三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-048792
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247778
特許番号：特許第3621282号
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ルツボの外層がAl添加石英層、中間層が天然石英層または高純度合成石英層、内層が透明高純度合成石英層からなる3層構造であって、前記外層の表層部におけるAl濃度が50ppm〜120ppm、内層の内表面から距離2〜4mmにおけるAl濃度が20ppm以下、0〜1mmにおけるAl濃度が1ppm以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。

IPC (2件)：