角速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：伊藤洋二 , 三浦高広 , 水野史博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-232319
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042767
特許番号：特許第3835212号
出願日： 2001年07月31日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基部(20)と、前記基部に連結された振動子(30、40)と、前記振動子を前記基部の表面と平行な第1の方向(x)へ駆動振動させるために、前記第1の方向に振動を発生させる加振手段(34、44)と、前記振動子の駆動振動のもと角速度が印加されたときに前記第1の方向と直交するとともに前記基部の表面と平行な第2の方向(y)への前記振動子の振動に基づいて前記角速度を検出する検出手段(70、80)と、前記振動子と前記加振手段とを連結する梁手段(60)とを備え、前記梁手段は、前記加振手段に連結されて前記加振手段の発生した振動による変位を、てこの原理によって前記第1の方向に沿って拡大する第1の梁手段と、前記第1の梁手段に連結されて前記拡大された変位の振動をして前記振動子に伝える第2の梁手段とを備え、前記第1の梁手段は、一端が固定点である支点(61)となり他端が互いに接続された作用点(62)となる2つの梁を有し、それぞれの梁において、前記支点と前記作用点との間に前記加振手段に接続された力点(63)が設けられ、前記加振手段の振動による前記力点の変位を前記作用点において前記第1の方向に沿って拡大するようになっており、前記第2の梁手段は、前記2つの梁の他端が接続された前記作用点に連結されていることを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ( 200 6.01) , G01P 9/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (7件)

直交する1次振動および2次振動の相互干渉を防止した回転速度ジャイロスコープ
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-517158 出願人：ハーン-シッカート-ゲゼルシャフトフアアンゲワンテフォルシュンクアインゲトラーゲナーフェライン
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-024875 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-245725 出願人：アイシン精機株式会社

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