レーザ加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：高橋省吾 , 稲葉忠彦 , 村上加奈子 , 中鶴一隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-575171
特許番号：特許第3797327号
出願日： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】偏向ミラーにより偏向されたレーザ光を被加工物上に集光するためのスキャニングレンズを備え、前記偏向ミラーと前記スキャニングレンズとを用いることにより偏向領域内の複数の位置にレーザ光を照射し加工を行うレーザ加工装置において、前記偏向領域内の複数の異なる測定位置に、前記偏向ミラーにより偏向され照射されるレーザ光のエネルギを測定するエネルギ測定手段と、エネルギ測定手段による測定に基づきスキャニングレンズの汚れを検知する手段とを備えていることを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (1件)：