特許
J-GLOBAL ID：201103093670874461

電子銃、電子線露光転写装置及び半導体デバイスの製造方法

発明者：
鈴木 正平

鈴木 正平 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 特許業務法人オカダ・フシミ・ヒラノ ,  細江 利昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136934
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331632
特許番号：特許第4214616号
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 温度制限領域で動作させる電子銃において、カソードより下流にできる第1のクロスオーバ面にクロスオーバの形状を制限するためのアパーチャーが設けられていることを特徴とする電子銃。
IPC (5件)：
H01J 37/065 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01J 37/063 ( 200 6.01) ,  H01J 37/305 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (6件)：
H01J 37/065 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/063 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 B
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • 電子銃、電子ビーム装置及び電子ビーム照射方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-063512   出願人：富士通株式会社
  • 電子線転写装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-031415   出願人：株式会社ニコン
  • 電子銃
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-031409   出願人：株式会社ニコン
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