WU Tong について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
SASAKI Takashi について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
AKIYAMA Masayuki について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
HANE Kazuhiro について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) について
膜 について
鏡 について
ケイ素 について
マイクロマシニング について
接合 について
共晶 について
MEMS について
転写 について
反射鏡 について
MEMSデフォーマブルミラー について
ウエハ接合 について
デフォーマブルミラー について
バイモルフ について
バルクマイクロマシニング について
単結晶シリコン について
固体デバイス製造技術一般 について
光学器械要素とその材料 について
ストローク について
デフォーマブルミラー について
製作 について
大規模 について
転写プロセス について