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J-GLOBAL ID：201202244264221700   整理番号：12A1005975

Si-Ti-C溶液を用いた溶液成長法により成長させた4H-SiC単結晶の結晶度評価

Crystallinity evaluation of 4H-SiC single crystal grown by solution growth technique using Si-Ti-C solution

著者 (10件)： KAMEI K. (Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN) ,  KUSUNOKI K. (Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN) ,  YASHIRO N. (Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN) ,  OKADA N. (Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN) ,  MORIGUCHI K. (Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN) ,  DAIKOKU H. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  KADO M. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  SUZUKI H. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  SAKAMOTO H. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  BESSHO T. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
資料名： Materials Science Forum  (Materials Science Forum)
巻： 717/720  号： Pt.1  ページ： 45-48  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (9件)： Si ,  Ti ,  溶液 ,  溶液成長 ,  成長 ,  4H-SiC ,  単結晶 ,  結晶度 ,  評価