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J-GLOBAL ID:201202244264221700   整理番号:12A1005975

Si-Ti-C溶液を用いた溶液成長法により成長させた4H-SiC単結晶の結晶度評価

Crystallinity evaluation of 4H-SiC single crystal grown by solution growth technique using Si-Ti-C solution
著者 (10件):
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巻: 717/720  号: Pt.1  ページ: 45-48  発行年: 2012年 
JST資料番号: D0716B  ISSN: 0255-5476  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)

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