感光性ジアゾ/PVAレジストへのグラフェンの適用

HARADA Kieko; OKADA Masaki; HIAKI Toshihiro; MATSUDA Kiyomi; TAKAHARA Shigeru; HOSHINO Katsuyoshi; SUGITA Kazuyuki

文献

J-GLOBAL ID：201202276788084202 整理番号：12A1092687

感光性ジアゾ/PVAレジストへのグラフェンの適用

Application of Graphene to Photosensitive Diazo/PVA Resist

出版者サイト {{ this.onShowPLink() }} 複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=12A1092687&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=12A1092687&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L0202A") }}

著者 (7件)： , , , , , ,
資料名：
巻： 25 号： 4 ページ： 439-444 発行年： 2012年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

ナノカーボンの一つ,グラフェンをジフェニル-4-ジアゾニウムサルファート/ホルムアルデヒド縮合物/ポリビニルアルコール(DSR/PVA)レジスト膜に添加した。DSR/PVA硬化膜の伝導度はグラフェンの混和で増加した。伝導度は多重壁カーボンナノチューブ(CNT)及びフラーレンC₆₀(グラフェンの重量比,CNTあるいはC₆₀対DSR=1.00:1.00)のそれより大であった。グラフェンとDSR/PVA膜の伝導度は分散方法に依存した。硬化薄膜(3μm)の電気伝導度(σ)の値は,厚膜(4μm)のそれよりも1.5倍大きかった。DSR/PVA被覆膜の光分解はグラフェンで加速された。ジアゾ化合物は,光エネルギーを吸収するグラフェンから放出される電子により還元的に分解されると考えられる。グラフェンの電子豊富特性は,電気伝導度及び光分解速度速度における増進に重要な役割を持つ。グラフェンを有するDSR/PVA硬化膜の硬度は,添加剤無しのそれより高かった。グラフェンを含有するDSR/PVA硬化膜の伝導度及び硬度は,長CNT及び丸いC₆₀を有するそれらよりも高かった,これはグラフェンの一層極性端部に帰属すると思われる。(翻訳著者抄録)

, , , , , , , , , , , ,

固体デバイス製造技術一般 , 炭素とその化合物

引用文献 (15件)：

1 K. Harada, M. Kushida, S. Miyagawa, S. Takahara and K. Sugita, J. Photopolym. Sci. Technol., 18, (2005) 187.
2. K. Harada, T. Taniai, M. Nakada, H. Hamana and K. Sugita, J. Photopolymer Sci. Technol., 20, (2007) 309.
3. K. Harada, T. Taniai, M. Nakada, H. Hamana and K. Matsuda, S. Takahara and K.Sugita, J. Pho-topolymer Sci. Technol., 21,(2008) 59.
4. T. Shibata, T. Ishii, H. Nozawa and T. Tamamu-ra, Jpn. J. Aappl. Phys., 368 (12B), (1997) 7642.
5. K. Harada, T. Taniai, M. Nakada, H. Hamana, K .Matsuda, S. Takahara and K. Sugita, J, Photo-polym. Sci. Technol., 22 (2009), 347.

, ,

前のページに戻る