特許
J-GLOBAL ID：201203001189862374
極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-271331
公開番号（公開出願番号）：特開2012-199512
出願日： 2011年12月12日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：
【課題】安定してEUV光を生成する。【解決手段】レーザ装置を備えた極端紫外光生成装置は、前記レーザ装置から出力されたレーザ光を導入するウィンドウを備えたチャンバと、前記チャンバ内部の所定位置付近にターゲットを出力するターゲット供給部と、前記所定位置付近に前記レーザ光を集光するレーザ集光光学系と、前記所定位置付近を通過したレーザ光の像を検出する検出器と、前記所定位置付近における前記ターゲットの通過位置を調整するターゲット位置調整装置と、前記所定位置付近における前記レーザ光の集光位置を調整するレーザ集光位置調整装置と、前記検出器で検出された像に基づいて、前記ターゲット位置調整装置と前記レーザ集光位置調整装置とを制御する制御部と、を備えてもよい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
レーザ装置を備えた極端紫外光生成装置において、
前記レーザ装置から出力されたレーザ光を導入するウィンドウを備えたチャンバと、
前記チャンバ内部の所定位置付近にターゲットを出力するターゲット供給部と、
前記所定位置付近に前記レーザ光を集光するレーザ集光光学系と、
前記所定位置付近を通過したレーザ光の像を検出する検出器と、
前記所定位置付近における前記ターゲットの通過位置を調整するターゲット位置調整装置と、
前記所定位置付近における前記レーザ光の集光位置を調整するレーザ集光位置調整装置と、
前記検出器で検出された像に基づいて、前記ターゲット位置調整装置と前記レーザ集光位置調整装置とを制御する制御部と、
を備える極端紫外光生成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 531S
, H05G1/00 K
4C092AA06
, 4C092AA15
, 4C092AB12
, 4C092AC09
, 4C092BD05
, 4C092BD19
, 5F146GA21
, 5F146GC12
