特許
J-GLOBAL ID：200903024070502587
極端紫外光源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-275442
公開番号（公開出願番号）：特開2008-097883
出願日： 2006年10月06日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】EUV光発生チャンバのウインドウの劣化等を容易にチェックすることが可能なEUV光源装置を提供する。【解決手段】このEUV光源装置は、ドライバーレーザ1と、EUV光発生チャンバ2と、ウインドウ6と、EUV光集光ミラー8と、レーザ光を発散する凹レンズ41と、発散されたレーザ光をコリメートする凸レンズ42と、コリメートされたレーザ光を反射して集光する放物凹面鏡43と、放物凹面鏡43の位置及び角度を調整する放物凹面鏡調整機構44と、EUV光発生時において閉じられ、EUV光非発生時において開かれるゲートバルブ16と、EUV光非発生時にゲートバルブ16を通過したレーザ光の強度を検出するレーザ光検出器61と、レーザ光の強度に基づいて、ウインドウ6及び/又は放物凹面鏡43の劣化を検出するレーザ光光学系劣化チェック処理部80とを具備する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ターゲット物質にレーザ光を照射することにより前記ターゲット物質をプラズマ化して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の発生が行われる極端紫外光発生チャンバと、
極端紫外光の発生が行われるときに、ターゲット物質を前記極端紫外光発生チャンバ内に噴射するターゲット物質供給部と、
レーザ光を出射するドライバーレーザと、
前記極端紫外光発生チャンバに設けられ、レーザ光を前記極端紫外光発生チャンバ内に透過させるウインドウと、
少なくとも1つの光学素子を含むレーザ光集光光学系であって、前記ドライバーレーザから出射されたレーザ光を前記極端紫外光発生チャンバ内に噴射されるターゲット物質の軌道上に集光させることによりプラズマを発生させる前記レーザ光集光光学系と、
前記プラズマから放出される極端紫外光を集光して出射する極端紫外光集光光学系と、
前記極端紫外光発生チャンバの外部に設けられ、極端紫外光の発生が行われないときに、前記レーザ光集光光学系によって集光された後にターゲット物質に照射されることなく発散して前記極端紫外光発生チャンバから出射したレーザ光の強度を検出するレーザ光検出器と、
極端紫外光の発生が行われないときに、前記レーザ光検出器によって検出されたレーザ光の強度に基づいて、前記ウインドウ及び/又は前記少なくとも1つの光学素子の劣化を判定する処理部と、
を具備する極端紫外光源装置。
IPC (3件)：
H05G 2/00
, H01L 21/027
, G03F 7/20
H05G1/00 K
, H01L21/30 531S
, G03F7/20 521
4C092AA06
, 4C092AB21
, 4C092AC09
, 5F046GA03
, 5F046GC03
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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