特許
J-GLOBAL ID：201203002833098261

積層フィルム

発明者：
長谷川 彰

長谷川 彰 について

, 
黒田 俊也

黒田 俊也 について

, 
眞田 隆

眞田 隆 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (4件)： 棚井 澄雄 ,  ▲廣▼保 直純 ,  荒 則彦 ,  加藤 広之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-228915
公開番号（公開出願番号）：特開2012-081631
出願日： 2010年10月08日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：
【課題】十分なガスバリア性を有しており、しかもフィルムを屈曲させた場合においてもガスバリア性の低下を十分に抑制することが可能な積層フィルムを提供する。【解決手段】本発明の積層フィルムは、基材と、前記基材の少なくとも片方の表面上に形成された少なくとも1層の薄膜層とを備える積層フィルムであって、前記薄膜層のうちの少なくとも1層が珪素、酸素及び炭素を含有しており、且つ、該薄膜層の膜厚方向における該薄膜層の表面からの距離と、珪素原子、酸素原子及び炭素原子の合計量に対する炭素原子の量の比率との関係を示す炭素分布曲線において、(i) 前記炭素分布曲線が極大値と極小値を有すること、(ii) 前記炭素分布曲線の極大値が5at%以下であること、(iii) 前記炭素分布曲線において少なくとも1つの1at%以上の極大値があることを全て満たすことを特徴とする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基材と、前記基材の少なくとも片方の表面上に形成された少なくとも1層の薄膜層とを備える積層フィルムであって、 前記薄膜層のうちの少なくとも1層が珪素、酸素及び炭素を含有しており、且つ、 該薄膜層の膜厚方向における該薄膜層の表面からの距離と、珪素原子、酸素原子及び炭素原子の合計量に対する炭素原子の量の比率(炭素の原子比)との関係を示す炭素分布曲線において、下記条件(i)〜(iii): (i) 前記炭素分布曲線が極大値と極小値を有すること、 (ii) 前記炭素分布曲線の極大値が5at%以下であること、 (iii) 前記炭素分布曲線において少なくとも1つの1at%以上の極大値があること、 を全て満たすことを特徴とする積層フィルム。
IPC (6件)：
B32B 9/00 ,  H05B 33/02 ,  H05B 33/04 ,  H01L 51/50 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/505
FI (6件)：
B32B9/00 A ,  H05B33/02 ,  H05B33/04 ,  H05B33/14 A ,  C23C16/42 ,  C23C16/505
Fターム (30件)：
3K107AA01 ,  3K107BB02 ,  3K107CC23 ,  3K107DD17 ,  3K107DD18 ,  3K107DD19 ,  3K107EE42 ,  3K107EE45 ,  3K107EE48 ,  3K107EE50 ,  3K107FF14 ,  3K107GG03 ,  4F100AA16B ,  4F100AA20B ,  4F100AT00A ,  4F100EH66B ,  4F100EJ61B ,  4F100GB41 ,  4F100JD02 ,  4F100JM02B ,  4K030AA01 ,  4K030AA14 ,  4K030BA44 ,  4K030BA48 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA03 ,  4K030GA14 ,  4K030KA34 ,  4K030LA18
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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