特許
J-GLOBAL ID：201203010823063870
移動体装置、露光装置、デバイス製造方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及び物体交換方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-198172
公開番号（公開出願番号）：特開2012-060134
出願日： 2011年09月12日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】物体支持装置上の物体の交換を迅速に行う。【解決手段】 搬出対象の基板Paを支持する第1エア浮上ユニット69の+X側に、搬入対象の基板Pbを支持する第2エア浮上ユニット70が配置され、第2エア浮上ユニット70の下方に第3エア浮上ユニット75がθy方向に傾斜して配置されている。第1エア浮上ユニット69が第3エア浮上ユニット75に合わせてθy方向に傾斜されて、基板Paが第1エア浮上ユニット69上から第3エア浮上ユニット75上に搬送された後、第1エア浮上ユニット69が水平にされ、基板Pbが第2エア浮上ユニット70上から第1エア浮上ユニット69上に搬送される。すなわち、第1エア浮上ユニット69に対する基板の搬入経路と搬出経路が異なる。したがって、第1エア浮上ユニット69上の基板の交換を迅速に行うことができる。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
物体の端部を保持し、該物体と共に少なくとも水平面に平行な所定の二次元平面内の所定範囲を移動可能な移動体と、
その一面が前記二次元平面に対する傾斜角度を0度を含む少なくとも2段階で変更可能な第1部材を有し、前記所定範囲内で前記移動体と共に移動する前記物体を下方から支持する物体支持装置と、
前記二次元平面に対して第1の角度を成す第1の状態にある前記第1部材の前記一面とともに前記二次元平面に対して前記第1の角度を成す第1移動面を形成する一面を有し、前記物体を下方から支持可能な第1支持装置と、
前記二次元平面に対して第2の角度を成す第2の状態にある前記第1部材の前記一面とともに前記二次元平面に対して前記第2の角度を成す第2移動面を形成する一面を有し、前記物体を下方から支持可能な第2支持装置と、
前記物体を前記第1移動面に沿って移動させる第1搬送系と、前記物体を前記第2移動面に沿って移動させる第2搬送系と、を含む搬送系と、を備え、
前記第1及び第2搬送系の一方により前記物体を前記物体支持装置上から搬出するとともに、前記第1及び第2搬送系の他方により別の物体を前記物体支持装置上に搬入する移動体装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 515G
, G03F7/22 H
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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