硬質基板の研削方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松本昂 , 伊藤憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-010771
公開番号（公開出願番号）：特開2012-151410
出願日： 2011年01月21日
公開日（公表日）： 2012年08月09日
要約：

【課題】硬質基板を損傷させることなく研削可能な硬質基板の研削方法を提供することである。【解決手段】硬質基板の研削方法であって、チャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、研削送り手段を作動して該チャックテーブルに保持された硬質基板の上面より研削砥石の研削面が僅かに下になる様に研削手段を位置づける研削手段位置付け工程と、該研削ホイールを回転させるとともに位置付け手段を作動して該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルを研削位置まで移動する移動工程と、該研削送り手段を作動して所定の研削送り速度で該チャックテーブルに保持された硬質基板を研削する研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

被加工物を保持する保持面を有し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、研削水を供給する研削水供給手段と、被加工物を搬入搬出する搬入搬出位置と被加工物を研削する研削位置とに該チャックテーブルを位置づける位置付け手段と、該研削手段を該チャックテーブルに対して相対的に研削送りして接近及び離反させる研削送り手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物の厚みを検出する厚み検出手段とを備えた研削装置によって、硬質基板を研削する硬質基板の研削方法であって、該チャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、該研削送り手段を作動して該チャックテーブルに保持された硬質基板の上面より研削砥石の研削面が僅かに下になる様に該研削手段を位置づける研削手段位置付け工程と、該研削ホイールを回転させるとともに、該位置付け手段を作動して該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルを該研削位置まで移動する移動工程と、該研削送り手段を作動して所定の研削送り速度で該チャックテーブルに保持された硬質基板を研削する研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする硬質基板の研削方法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 , B24B 7/22

FI (4件)：

H01L21/304 631 , B24B7/22 A , H01L21/304 622W , H01L21/304 622R

Fターム (16件)：

3C043BA03 , 3C043BA08 , 3C043BA12 , 3C043BA15 , 3C043CC04 , 3C043EE04 , 5F057AA12 , 5F057BA11 , 5F057BB09 , 5F057BB12 , 5F057CA14 , 5F057CA32 , 5F057DA11 , 5F057GA15 , 5F057GB03 , 5F057GB13

引用特許：

審査官引用 (9件)

板状物の研削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-000986 出願人：株式会社ディスコ
特開昭62-264858
特開昭62-264858

全件表示

前のページに戻る