特許
J-GLOBAL ID:200903033156315746

研削装置および研磨装置、並びに研削方法および研磨方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田代 攻治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-033846
公開番号(公開出願番号):特開2007-210074
出願日: 2006年02月10日
公開日(公表日): 2007年08月23日
要約:
【課題】研削加工、研磨加工の加工精度を高め、工具目つぶれ等の発生を防ぎ、チッピング、クラック等のワーク不良発生を抑制する研削/研磨装置、研削/研磨方法を提供する。【解決手段】工具回転駆動部20またはワーク保持部15のうち、軸方向に駆動される側の回転軸33を軸方向駆動の駆動基準面内またはその近傍に配置する。あるいは、前記回転軸33に直交する方向に揺動する工具回転駆動部20またはワーク保持部15を支持する支持点34c、34dを、前記揺動される工具回転駆動部20またはワーク保持部15の回転軸33に対して前記揺動方向の前後両側、及び前記揺動方向に直行する方向の左右両側に配置する。これらの対応により、工具の顎上がり現象が回避され、平坦度が格段に改善される。加えて、加工負荷を検知して工具28に対するワーク13の相対的送りを適切に制御することによりオーバーロード、これに起因する工具発熱を回避する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
研削工具または研磨工具を回転駆動させる工具回転駆動部と、 前記工具の回転軸と平行な回転軸を中心に回転可能にワークを保持するワーク保持部と、 前記工具回転駆動部またはワーク保持部のいずれか一方を他方に対して前記両回転軸方向に接近、後退させる軸方向駆動部と、 全体の動作を制御する制御部とを備え、前記ワークを前記工具に押し当てて前記ワークの平面を仕上げ加工する研削装置または研磨装置において、 前記軸方向駆動部により駆動される工具回転駆動部またはワーク保持部の回転軸が、前記軸方向駆動部による駆動をガイドする駆動基準面の面内に位置していること、または前記駆動基準面の近傍に位置していることを特徴とする研削装置または研磨装置。
IPC (6件):
B24B 41/047 ,  B24B 37/04 ,  B24B 7/04 ,  B24B 49/16 ,  B24B 37/00 ,  B24B 41/06
FI (6件):
B24B41/047 ,  B24B37/04 B ,  B24B7/04 B ,  B24B49/16 ,  B24B37/00 B ,  B24B41/06 L
Fターム (20件):
3C034AA08 ,  3C034AA17 ,  3C034BB09 ,  3C034BB15 ,  3C034BB27 ,  3C034CA18 ,  3C034DD10 ,  3C043BA03 ,  3C043BA09 ,  3C043BA13 ,  3C043BA15 ,  3C043DD01 ,  3C043DD05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058AA14 ,  3C058AB04 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 定圧研削法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-303696   出願人:愛知県
  • 平面研削方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-039881   出願人:株式会社ディスコ
審査官引用 (21件)
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