特許
J-GLOBAL ID：201203022883337640

ガスセンサ

発明者：
新西 一哉

新西 一哉 について


出願人/特許権者：
フィガロ技研株式会社

フィガロ技研株式会社 について


代理人 (2件)： 塩入 明 ,  塩入 みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-248142
公開番号（公開出願番号）：特開2012-098234
出願日： 2010年11月05日
公開日（公表日）： 2012年05月24日
要約：
【構成】 ガスセンサは、半導体チップと、通気性のあるセラミックもしくはガラスのパッケージとから成る。半導体チップは、半導体チップの一面に設けられた絶縁膜と、絶縁膜と半導体チップとを貫通するキャビティと、絶縁膜に設けられた感ガス部と、感ガス部に接続されたパッド、とを備えている。パッケージは、半導体チップのパッドとバンプを介してフリップチップ接続されたパッドと、パッケージのパッドからパッケージの他の面まで引き出された配線、とを備えている。【効果】 雰囲気は感ガス部側から半導体チップ内を貫通でき、チップをフリップチップ接続するとパッケージに組み付けることができ、パッケージ以外のカバーが不要である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体チップと、通気性のあるセラミックもしくはガラスのパッケージとから成り、 前記半導体チップは、半導体チップの一面に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜と前記半導体チップとを貫通するキャビティと、前記絶縁膜に設けられた感ガス部と、前記感ガス部に接続されたパッド、とを備え、 前記パッケージは、半導体チップのパッドとバンプを介してフリップチップ接続されたパッドと、パッケージのパッドからパッケージの他の面まで引き出された配線、とを備えている、ガスセンサ。
IPC (1件)：
G01N 27/12
FI (1件)：
G01N27/12 B
Fターム (8件)：
2G046AA01 ,  2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BG02 ,  2G046BJ07 ,  2G046FE38 ,  2G046FE39
引用特許：
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM