光学式位置測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小野新次郎 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 山崎幸作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-258593
公開番号（公開出願番号）：特開2012-127946
出願日： 2011年11月28日
公開日（公表日）： 2012年07月05日
要約：

【課題】測定目盛面に対して直角な軸を中心にして、測定目盛を備えた基準尺体に対して相対的な走査検知ユニットの傾斜に対して鈍感な高分解能の光学式位置測定装置を提供する。【解決手段】光源21により発せられた光束が測定目盛11に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われる。走査検知ユニット20の方向に進む分光光束が、第一走査検知目盛24を介してリフレクタ要素25に当たり、そして測定目盛11の方向への反射を受け、そのとき測定目盛11へ向かう経路で第一走査検知目盛24を通過する。再び測定目盛11に当たった後に、走査検知ユニット20の方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素22を介して検知ユニット26方向へ方向転換される。そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

走査検知ユニットおよび測定目盛を備えた基準尺体の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、その走査検知ユニットおよび基準尺体は、少なくとも一つの測定方向(x)に沿って互いの間で移動自在であり、そして - 走査検知ユニットには、光源、第一円環状走査検知目盛、リフレクタ要素、分光器要素、および検知ユニットを含んでおり、そして - 光源により発せられた光束が測定目盛に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われ、 - 走査検知ユニットの方向に進む分光光束が、第一走査検知目盛を介してリフレクタ要素に当たり、 - その分光光束が、リフレクタ要素により測定目盛の方向への反射を受け、そして測定目盛へ向かう経路で第一走査検知目盛を通過し、そして - 再び測定目盛に当たった後に、走査検知ユニットの方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素を介して検知ユニット方向へ方向転換され、そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる、光学式位置測定装置において、第一走査検知目盛(24;124;224;324;424;524.1,524.2;624)が、 - それを介して、それに測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)から入射する分光光束を、リフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)に集束し、 - それを介して分光光束の再平行光線化が行われ、それがリフレクタ要素(25;125;225;325;425;525.1,525.2;625a,625b)での反射の後に、測定目盛(11;111;211;311;411;511;611)の方向に進むように構成されている、ことを特徴とする光学式位置測定装置。

IPC (1件)：

G01D 5/38

FI (1件)：

G01D5/38 G

Fターム (18件)：

2F103BA04 , 2F103BA08 , 2F103BA10 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103DA12 , 2F103EA07 , 2F103EA15 , 2F103EA17 , 2F103EB02 , 2F103EB03 , 2F103EB06 , 2F103EB07 , 2F103EB19 , 2F103EC02 , 2F103EC12 , 2F103EC14 , 2F103EC15

引用特許：

出願人引用 (5件)

位置測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-176321 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
光学式変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-200133 出願人：ソニー株式会社
格子干渉型変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-179099 出願人：株式会社ミツトヨ

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審査官引用 (5件)

位置測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-176321 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
光学式変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-200133 出願人：ソニー株式会社
格子干渉型変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-179099 出願人：株式会社ミツトヨ

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