試料像取得方法及び走査電子顕微鏡

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-165547
公開番号（公開出願番号）：特開2005-345272
出願日： 2004年06月03日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

【課題】 SEMを用いて絶縁物試料を観察した際に形成される帯電の緩和若しくは安定化を図る。【解決手段】試料の表面電界強度や画像取得時の一次電子ビームの走査方法を制御する事で、一次電子ビーム照射によって生成される帯電を緩和若しくは安定化し、一次電子ビームの照射によって生成される動的な帯電の影響を受けにくくする。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

走査電子顕微鏡を用いた試料観察方法において、試料の表面電界強度を一定にした条件で複数の試料像を取得し、前記複数の試料像から試料上の所定のパターンの寸法変動量を求めるステップと、前記表面電界強度を変化させて前記ステップを反復し、前記表面電界強度と前記寸法変動量の間の関係を求めるステップと、前記関係から前記寸法変動量が小さい表面電界強度を求めるステップと、求めた表面電界強度を走査電子顕微鏡に設定して試料像を観察するステップと、を有することを特徴とする試料観察方法。

IPC (5件)：

G01B15/00 , G01N23/225 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28

FI (5件)：

G01B15/00 B , G01N23/225 , H01J37/147 B , H01J37/244 , H01J37/28 B

Fターム (27件)：

2F067AA21 , 2F067BB04 , 2F067CC15 , 2F067EE14 , 2F067FF18 , 2F067HH06 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067LL14 , 2F067LL17 , 2F067QQ02 , 2F067QQ11 , 2F067RR35 , 2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001SA04 , 5C033NN01 , 5C033NP05 , 5C033NP06 , 5C033NP08

引用特許：

出願人引用 (12件)

走査型電子顕微鏡およびその観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-335986 出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社, 株式会社日立サイエンスシステムズ
走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-275837 出願人：株式会社日立製作所
走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-000222 出願人：株式会社日立製作所

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審査官引用 (11件)

特開平2-159508
特開昭61-294748
特開昭63-012146

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