特許
J-GLOBAL ID：201203028354260274
カーボンナノチューブ集合体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-011288
公開番号（公開出願番号）：特開2012-153540
出願日： 2011年01月21日
公開日（公表日）： 2012年08月16日
要約：
【課題】結晶欠陥及び触媒金属の含有量が少なく、所望の優れた特性を有するCNT集合体及びその製造方法を提供すること。【解決手段】化学気相合成法によって、基板表面にCNT垂直配向膜を形成し、そのCNT垂直配向膜からCNT集合体を製造する方法において、基板上にCNT垂直配向膜を形成した後に、酸素プラズマエッチングによって、CNT垂直配向膜の上部を除去する。これにより、結晶欠陥を多く含むCNT部分や、CNT垂直配向膜の上部に付着した触媒金属を、効果的に除去できる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
化学気相合成法によって、基板表面にカーボンナノチューブ垂直配向膜を形成し、そのカーボンナノチューブ垂直配向膜からカーボンナノチューブ集合体を製造する方法において、
前記カーボンナノチューブ垂直配向膜を形成した後に、気相エッチングによって、前記カーボンナノチューブ垂直配向膜の上部を除去することを特徴とするカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (24件)：
4G146AA11
, 4G146AB05
, 4G146AB06
, 4G146AB07
, 4G146AB08
, 4G146AC03B
, 4G146AD05
, 4G146AD10
, 4G146AD17
, 4G146AD20
, 4G146AD22
, 4G146AD26
, 4G146AD32
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB23
, 4G146BC08
, 4G146BC23
, 4G146BC33B
, 4G146BC44
, 4G146CB15
, 4G146CB16
, 4G146CB21
, 4G146CB32
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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