特許
J-GLOBAL ID：201203038954613265

ロードポート

発明者：
夏目 光夫

夏目 光夫 について

, 
落合 光敏

落合 光敏 について

, 
溝河 巧

溝河 巧 について


出願人/特許権者：
シンフォニアテクノロジー株式会社

シンフォニアテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 佐野 禎哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-155111
公開番号（公開出願番号）：特開2012-019046
出願日： 2010年07月07日
公開日（公表日）： 2012年01月26日
要約：
【課題】所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を短時間で行うことができ、作業効率を向上させることが可能なロードポートを提供する。【解決手段】FOUP9の搬出入口91と連通し得る開口部21を有するフレーム2と、開口部21を開閉可能なドア部3と、FOUP9の底面側からFOUP9内の気体雰囲気を窒素ガスに置換可能なボトムパージ部5と、ドア部3によって開放した搬出入口91に連通する開口部21をFOUP9の前面側から遮蔽し得るチャンバ7と、チャンバ7に設けられてドア部3によって搬出入口91を開放した状態にあるFOUP9の前面側からFOUP9内の気体雰囲気を窒素ガスに置換可能なフロントパージ部6とを備えたロードポート1とした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内において半導体製造装置に隣接して設けられ、搬送されてきたFOUPを受け取り当該FOUP内に格納されているウェーハを前記半導体製造装置内と当該FOUP内との間でFOUPの前面に形成した搬出入口を介して出し入れするロードポートであって、 前記搬出入口と連通し得る開口部を有するフレームと、 前記開口部を開閉可能なドア部と、 前記FOUPの底面側から当該FOUP内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気に置換可能なボトムパージ部と、 前記フレームのうち前記開口部よりも前記半導体製造装置側に設けられ、前記ドア部によって開放した前記搬出入口に連通する前記開口部を当該FOUPの前面側から遮蔽し得るチャンバと、 当該チャンバに設けられ、且つ前記ドア部によって前記搬出入口を開放した状態にある前記FOUPの前面側から当該FOUP内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気に置換可能なフロントパージ部とを備えていることを特徴とするロードポート。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (11件)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031JA01 ,  5F031JA08 ,  5F031JA22 ,  5F031LA15 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA10
引用特許：
審査官引用 (7件)
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