特許
J-GLOBAL ID：201203057479333273

形状測定装置および形状測定方法

発明者：
中嶋 伸也

中嶋 伸也 について


出願人/特許権者：
パナソニック株式会社

パナソニック株式会社 について


代理人 (2件)： 原田 洋平 ,  森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-143247
公開番号（公開出願番号）：特開2012-007961
出願日： 2010年06月24日
公開日（公表日）： 2012年01月12日
要約：
【課題】凹凸形状の測定精度の向上を図ることができる形状測定装置を提供する。【解決手段】本発明の形状測定装置は、測定対象1の凹凸形状にライン光を照射する投光装置2と、前記投光装置2によって前記凹凸形状に形成される光切断線を撮像する撮像装置3と、前記凹凸形状の上底及び下底の各々で前記光切断線の幅が最小になるように前記投光装置2をその光出射軸方向4に移動させる駆動装置5と、前記撮像装置3によって撮像された、前記凹凸形状の上底で前記光切断線の幅が最小となる画像と、前記凹凸形状の下底で前記光切断線の幅が最小となる画像に基いて、前記凹凸形状の高さ又は深さを算出する処理装置6と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象の凹凸形状にライン光を照射する投光装置と、 前記投光装置によって前記凹凸形状に形成される光切断線を撮像する撮像装置と、 前記凹凸形状の上底及び下底の各々で前記光切断線の幅が最小になるように前記投光装置をその光出射軸方向に移動させる駆動装置と、 前記撮像装置によって撮像された、前記凹凸形状の上底で前記光切断線の幅が最小となる画像と、前記凹凸形状の下底で前記光切断線の幅が最小となる画像に基いて、前記凹凸形状の高さ又は深さを算出する処理装置と、 を備えることを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/06
FI (1件)：
G01B11/06 H
Fターム (35件)：
2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA52 ,  2F065AA53 ,  2F065BB08 ,  2F065BB18 ,  2F065CC25 ,  2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065DD10 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ07 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065MM03 ,  2F065MM13 ,  2F065MM23 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ30 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02
引用特許：
審査官引用 (10件)
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