特許
J-GLOBAL ID：201203057707073678
バッキングプレートの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
木下 茂
, 石村 理恵
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-213074
公開番号（公開出願番号）：特開2012-067355
出願日： 2010年09月24日
公開日（公表日）： 2012年04月05日
要約：
【課題】スパッタリングの際のパーティクルの発生を効果的に低減し、かつ、Naを始めとするアルカリ金属不純物による汚染防止を図ることができるバッキングプレートを簡便に得られるバッキングプレートの製造方法を提供する。【解決手段】スパッタリングターゲット2を保持するバッキングプレート1を製造する方法において、前記バッキングプレート1表面の前記スパッタリングターゲットが接合される領域以外、すなわち、外周部1a及び側周面1bの少なくとも一部を、レーザ加工により凹凸を形成して粗面化する工程を経る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
スパッタリングターゲットを保持するバッキングプレートを製造する方法において、前記バッキングプレート表面の前記スパッタリングターゲットが接合される領域以外の少なくとも一部を、レーザ加工により凹凸を形成して粗面化する工程を備えていることを特徴とするバッキングプレートの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
4K029AA06
, 4K029AA24
, 4K029BA17
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC21
, 4K029DC24
