特許
J-GLOBAL ID：201203071827976127
固体電解質薄膜の作製方法、及び固体電解質薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
沖中 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-148415
公開番号（公開出願番号）：特開2012-014885
出願日： 2010年06月30日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：
【課題】リチウムイオン二次電池の無機固体電解質として有望なLi4SiO4-Li3PO4の薄膜形成条件を見出すとともに、当該Li4SiO4-Li3PO4からなる固体電解質薄膜を提供する。【解決手段】ノズル12を備えたチャンバ10の内部に基板Aを配置する準備工程と、前記チャンバ10を減圧する減圧工程と、前記ノズル12から前記基板Aの表面にLi4SiO4-Li3PO4を含むエアロゾルを吹き付ける吹付工程と、前記ノズル12に対して前記基板Aを相対移動させ、当該基板Aの表面全体に前記Li4SiO4-Li3PO4の薄膜を形成する膜形成工程と、を包含する固体電解質薄膜の作製方法。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ノズルを備えたチャンバの内部に基板を配置する準備工程と、
前記チャンバを減圧する減圧工程と、
前記ノズルから前記基板の表面にLi4SiO4-Li3PO4を含むエアロゾルを吹き付ける吹付工程と、
前記ノズルに対して前記基板を相対移動させ、当該基板の表面全体に前記Li4SiO4-Li3PO4の薄膜を形成する膜形成工程と、
を包含する固体電解質薄膜の作製方法。
IPC (6件)：
H01M 10/056
, C01B 33/32
, H01M 10/052
, H01B 13/00
, H01B 1/06
, C01B 25/30
H01M10/00 107
, C01B33/32
, H01M10/00 102
, H01B13/00 Z
, H01B1/06 A
, C01B25/30
4G073BA03
, 4G073BA70
, 4G073FD01
, 4G073FD14
, 4G073FD22
, 4G073FF03
, 4G073FF07
, 4G073GA01
, 4G073GA28
, 4G073GA30
, 4G073UA20
, 4G073UB11
, 4G073UB13
, 5G301CA02
, 5G301CA16
, 5G301CD01
, 5G301CE01
, 5H029AJ06
, 5H029AJ12
, 5H029AM12
, 5H029HJ02
, 5H029HJ03
, 5H029HJ15
