特許
J-GLOBAL ID：201203072061708423
基板検査装置及びマスク検査装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大山 健次郎
, 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-107723
公開番号（公開出願番号）：特開2012-237687
出願日： 2011年05月13日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
要約：
【課題】回折光や散乱光等の外乱による影響を受けにくく、パターンの微細化に十分対応できる基板検査装置及びマスク検査装置を実現する。【解決手段】本発明による基板検査装置は、検査データの取得と対物レンズ(8)の焦点データ信号の取得を並行して行う。検査中に対物レンズの光軸方向の位置を制御するオートフォーカス装置は、焦点誤差信号を出力する焦点誤差検出手段(40)と、対物レンズ位置信号又は焦点誤差信号が加算された対物レンズ位置信号により構成される焦点データ信号を用いて対物レンズの光軸方向の位置を制御する焦点制御信号を走査ラインごとに生成する焦点制御信号生成手段(60)とを有する。iを正の整数とした場合に、i番目の走査ラインの走査により取得した焦点データ信号を用いて生成された焦点制御信号は、(i+2m)番目の走査ラインを走査するときの焦点制御信号として用いられる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
検査されるべき基板を支持するステージと、基板に向けて照明ビームを投射する照明光学系と、基板から出射する透過光又は反射光を集光する対物レンズと、対物レンズの光軸方向の位置を検出して対物レンズ位置信号として出力する位置センサと、対物レンズの光軸方向の位置を制御するオートフォーカス装置とを具え、
前記ステージ又は対物レンズは、第1のスキャン方向、第1のスキャン方向と反対向きの第2のスキャン方向、及び第1及び第2のスキャン方向と直交する第3の方向に沿ってジグザグ状に移動し、前記ステージ又は対物レンズが第1及び第2のスキャン方向の走査ライン上を順次移動する間に基板の検査データが取得されると共に対物レンズの焦点データ信号及び対物レンズの光軸方向の位置データが走査ラインごとに取得される基板検査装置であって、
前記オートフォーカス装置は、対物レンズの基板表面に対する焦点誤差を検出し、焦点誤差信号として出力する焦点誤差検出手段と、
前記対物レンズ位置信号又は焦点誤差信号が加算された対物レンズ位置信号により構成される焦点データ信号を用いて、対物レンズの光軸方向の位置を制御するための焦点制御信号を形成する焦点制御信号生成手段とを有し、
iを正の整数とした場合に、i番目の走査ラインを走査する間に取得した焦点データ信号を用いて、mを自然数とした場合に、(i+2m)番目の走査ラインを走査するときの焦点制御信号が生成されることを特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 A
, G03F1/08 S
2G051AA56
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CD01
, 2G051CD04
, 2G051DA05
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA27
, 2G051EC03
, 2H095BD04
, 2H095BD12
, 2H095BD17
, 2H095BD20
, 2H095BD24
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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外観検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-135259
出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
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外観検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-160415
出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
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欠陥検査方法およびその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-037128
出願人：株式会社日立製作所
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