特許
J-GLOBAL ID：201203080539392721

MEMS構造部材用感光性樹脂組成物、パターン作製方法、並びに、MEMS構造体及びその作製方法

発明者：
米澤 裕之

米澤 裕之 について

, 
下野 勝弘

下野 勝弘 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 野口 恭弘 ,  深海 明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-246704
公開番号（公開出願番号）：特開2012-098557
出願日： 2010年11月02日
公開日（公表日）： 2012年05月24日
要約：
【課題】形成したパターンをベークした後であっても矩形又は矩形に近いプロファイルが形成可能なMEMS構造部材用感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(成分A)カルボキシ基又はフェノール性水酸基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位(a1)と、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有するモノマー単位(a2)とを有する重合体、(成分B)光酸発生剤、並びに、(成分C)溶剤、を含むことを特徴とするMEMS構造部材用感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(成分A)カルボキシ基又はフェノール性水酸基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位(a1)と、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有するモノマー単位(a2)とを有する重合体、 (成分B)光酸発生剤、並びに、 (成分C)溶剤、を含むことを特徴とする MEMS構造部材用感光性樹脂組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/039 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (40件)：
2H125AE03P ,  2H125AE04P ,  2H125AE14P ,  2H125AE17P ,  2H125AF51P ,  2H125AF52P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AJ12X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ66Y ,  2H125AM22P ,  2H125AM24P ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AM32P ,  2H125AM99P ,  2H125AN29P ,  2H125AN39P ,  2H125AN82P ,  2H125AN86P ,  2H125BA05P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA11 ,  2H125CA22 ,  2H125CB06 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125CD08P ,  2H125CD11P ,  2H125CD20P ,  2H125CD31 ,  2H125CD38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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