位置センサ及びリソグラフィ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：稲葉良幸 , 大貫敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-124078
公開番号（公開出願番号）：特開2011-257394
出願日： 2011年06月02日
公開日（公表日）： 2011年12月22日
要約：

【課題】コンパクトなユニット内に組み込むことができ、複数の自由度の位置測定値を提供できる位置センサを提供する。【解決手段】位置センサは、ターゲットの位置データを測定するように構成される。位置センサは、放射ビームを照射するように構成された放射源と、放射ビームを第1の回折方向に少なくとも1つの1次放射ビームに回折するように構成された第1の格子と、1次回折ビームの光路内に配置され、第1の格子で回折された1次回折ビームを、第1の回折方向に実質的に垂直な第2の回折方向に回折するように構成された第2の格子とを含む。第2の格子はターゲットに接続される。第1の検出器は、第1の格子によって回折されたビームの少なくとも一部を検出するように構成され、少なくとも1つの第2の検出器は第1の格子と第2の格子によって回折されたビームの少なくとも一部を検出するように構成される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ターゲットの位置データを測定するように構成された位置センサであって、伝搬方向を有する放射ビームを提供するように構成された放射源と、前記放射ビームを、前記伝搬方向に実質的に垂直な第1の回折方向に伝搬方向成分を有する少なくとも第1の回折ビーム内に回折するように構成された第1の格子と、前記第1の回折ビームの光路内に配置され、前記第1の格子で回折された前記第1の回折ビームを、前記第1の回折方向と前記伝搬方向とに実質的に垂直な第2の回折方向に伝搬方向成分を有する少なくとも第2の回折ビーム内に回折するように構成された第2の格子であって、前記ターゲットに接続された第2の格子と、前記第1の格子によって回折された前記第1の回折ビームの少なくとも一部を検出するように構成された第1の検出器と、前記第1の格子と前記第2の格子によって回折された前記第2の回折ビームの少なくとも一部を検出するように構成された第2の検出器とを備える位置センサ。

IPC (3件)：

G01B 11/26 , H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (3件)：

G01B11/26 G , H01L21/30 503A , G03F7/20 501

Fターム (23件)：

2F065AA35 , 2F065CC00 , 2F065FF48 , 2F065FF51 , 2F065FF67 , 2F065GG21 , 2F065HH04 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ18 , 2F065LL12 , 2F065LL16 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2H097LA10 , 2H097LA11 , 2H097LA20 , 5F146CC01 , 5F146CC02 , 5F146CC16 , 5F146DB05 , 5F146DC05 , 5F146DC12

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-270920
ゼロレベルを規定するように構成されたエンコーダを有するリソグラフィ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-003274 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-233660 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

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