特許
J-GLOBAL ID：200903005822494061
ゼロレベルを規定するように構成されたエンコーダを有するリソグラフィ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-003274
公開番号（公開出願番号）：特開2009-170908
出願日： 2009年01月09日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：
【課題】高価な及び/又は追加のセンサを使用する必要なしにz方向のゼロレベルを正確に規定できるリソグラフィ装置の位置測定システムを提供する。【解決手段】リソグラフィ装置は、可動物体の直交x-y-z座標系の少なくとも1方向にてリソグラフィ装置の基準フレームに対する可動物体の位置を測定する位置測定システムを含む。位置測定システムは、エンコーダの第2グレーティングに対する放射源、第1グレーティング、および検出器の変位を測定する光学x-zエンコーダを含む。第1グレーティングはアライメントマーカを含む。コントローラは、xおよびzの少なくとも1方向にて基準フレームに対する可動物体のゼロレベルを、第1グレーティングに沿ったスキャンを実行することによって規定し、スキャン段階の間にアライメントマーカが第1の正および負の次数両方の応答の位相に変化を引き起こす。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
放射ビームを調整する照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを与えてパターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するサポートと、
基板を保持する基板テーブルと、
前記基板のターゲット部分上に前記パターン付き放射ビームを投影する投影システムと、
可動物体の直交x-y-z座標系の少なくとも1方向にて、リソグラフィ装置の前記基準フレームに対する前記可動物体の位置を測定する位置測定システムであって、
位置測定システムが、エンコーダの第2グレーティングに対する放射源、第1グレーティング、および検出器の変位を測定する光学x-zエンコーダであって、前記放射源、前記検出器および前記第2グレーティングが前記可動物体または前記基準フレームの一方に取り付けられ、前記第1グレーティングが前記可動物体および前記基準フレームの他方に配置される、光学x-zエンコーダを含み、
前記エンコーダが、前記第1グレーティングに沿ったスキャンの間に、前記放射源から来る放射ビームを少なくとも第1の正および第1の負の次数の前記放射ビームに分離し、前記第1の正および前記第1の負の次数のそれぞれが前記第1および前記第2グレーティングに対して角度を有して、前記第1および前記第2グレーティングによって回折される応答を前記検出器上にもたらし、
前記第1グレーティングが、アライメントマーカを含む、
位置測定システムと、
前記xおよびzの少なくとも1方向にて前記基準フレームに対する前記可動物体のゼロレベルを、前記第1グレーティングに沿った前記スキャンを実行することによって規定するコントローラであって、前記アライメントマーカが前記スキャンの間に前記第1の正および負の次数両方の前記応答の位相に変化を引き起こす、コントローラと、
を備えるリソグラフィ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G01B 11/00
H01L21/30 516B
, H01L21/30 515F
, H01L21/30 515G
, G03F7/20 521
, G01B11/00 G
2F065AA03
, 2F065AA14
, 2F065AA20
, 2F065BB15
, 2F065BB27
, 2F065CC17
, 2F065DD02
, 2F065FF16
, 2F065FF48
, 2F065GG03
, 2F065GG04
, 2F065GG22
, 2F065HH04
, 2F065JJ05
, 2F065LL42
, 2F065PP12
, 2F065QQ25
, 2F065TT02
, 2F065TT08
, 2F065UU08
, 5F046BA03
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC04
, 5F046CC05
, 5F046CC13
, 5F046CC16
, 5F046CC20
, 5F046DA06
, 5F046DA07
, 5F046DA08
, 5F046DA14
, 5F046DB05
, 5F046DB10
, 5F046DC05
, 5F046DC12
