特許
J-GLOBAL ID：201203095031302422
大型ペリクル用枠体、大型ペリクル及び大型ペリクル用枠体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 清水 義憲
, 西本 博之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-198336
公開番号（公開出願番号）：特開2012-058279
出願日： 2010年09月03日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】枠体の製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制する。【解決手段】略矩形状に形成されて大型ペリクル膜3を展張支持する大型ペリクル用枠体2に少なくとも一つの接合部を形成し、この大型ペリクル用枠体2を構成する長辺2a,2bの一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部10a,10bを形成する。このように、長辺2a,2bの一部を屈曲させるという簡易な方法により屈曲部10a,10bを形成できるとともに、展張した大型ペリクル膜3の張力により大型ペリクル用枠体2の辺が内側に撓んだとしても、大型ペリクル用枠体2の内側に入り込む辺の最大変位量を小さくすることができるため、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
開口部を備える略矩形状の大型ペリクル用枠体であって、
前記開口部の周縁部は枠部材によって形成されていると共に、前記枠部材は少なくとも1つの接合部によって接合されており、
当該大型ペリクル用枠体を構成する辺の一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部が形成されていることを特徴とする、大型ペリクル用枠体。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H095BA01
, 2H095BC32
, 2H095BC36
, 2H095BC38
, 2H095BC39
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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