特許
J-GLOBAL ID：201303003777860710

光塩基発生剤及びこれを含有する感光性樹脂組成物

発明者：
宮本 佳季

宮本 佳季 について

, 
清水 克也

清水 克也 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  齋藤 都子 ,  三間 俊介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-240355
公開番号（公開出願番号）：特開2013-095706
出願日： 2011年11月01日
公開日（公表日）： 2013年05月20日
要約：
【課題】各種溶媒、及び組み合わせるエポキシ基を有する化合物との親和性に優れる光塩基発生剤、並びにこれを含む感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】下記式(1){式中、R1〜R4は特定の1価基であり、Zは未置換または置換アミノ基、環状アミノ基で表される部分構造である。}で表される、各種溶剤への溶解性が良好な光塩基発生剤である。更にこれを含有する、高分子前駆体の種類を問わず露光部と未露光部とで大きな溶解性コントラスト(すなわち高い残膜率)が得られ、かつアルカリ現像が可能な、光パターニング性を有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記一般式(1):
IPC (7件)：
C07C 235/34 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  C07C 235/36 ,  C09K 3/00 ,  C07D 211/16 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
C07C235/34 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/004 501 ,  C07C235/36 ,  C09K3/00 K ,  C07D211/16 ,  H01L21/30 502R
Fターム (23件)：
2H125AE14P ,  2H125AG00P ,  2H125AN39P ,  2H125AN72P ,  2H125CA11 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC12 ,  2H125CD02P ,  2H125CD35 ,  4C054AA02 ,  4C054CC04 ,  4C054DD01 ,  4C054EE01 ,  4C054FF03 ,  4C054FF05 ,  4H006AA03 ,  4H006AB81 ,  4H006BJ50 ,  4H006BN30 ,  4H006BP10 ,  4H006BV22 ,  4H006BV24
引用特許：
審査官引用 (7件)
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