特許

J-GLOBAL ID：201303015153857046

DLC膜及びDLCコート金型

発明者： 滝川 浩史 ,  田上 英人 ,  神谷 雅男 ,  加藤 裕久 ,  瀧 真 ,  長谷川 祐史
出願人/特許権者： 国立大学法人豊橋技術科学大学 ,  伊藤光学工業株式会社 ,  株式会社オンワード技研
代理人 (1件)： 的場 基憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-019306
公開番号（公開出願番号）：特開2013-136511
出願日： 2013年02月04日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
要約：

【課題】高温耐久性を始めとする保護膜として要求される種々の特性、特に耐熱性や耐融着性、表面平滑性に優れたDLC膜と、このようなDLC膜を備えたDLCコート金型を提供すること。【解決手段】DLC膜の可視光レーザを用いたラマン分光スペクトルにおいて、1000〜1200cm-1間にピークを有する特性バンドを持ち、DバンドとGバンドのピーク強度比及び面積強度比が0.2以下であり、且つ当該特性バンドとDバンドとのピーク強度比及び面積強度比が0.5以上のものとする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

可視光レーザを用いたラマン分光スペクトルにおいて、1000〜1200cm-1間にピークを有する特性バンドを持ち、DバンドとGバンドのピーク強度比及び面積強度比が0.2以下であり、且つ当該特性バンドとDバンドとのピーク強度比及び面積強度比が0.5以上であることを特徴とするDLC膜。

IPC (4件)：

C01B 31/02 ,  C23C 14/24 ,  C03B 11/00 ,  B29C 33/38

FI (4件)：

C01B31/02 101Z ,  C23C14/24 N ,  C03B11/00 M ,  B29C33/38

Fターム (32件)：

4F202AJ06 ,  4F202AJ09 ,  4F202AJ11 ,  4F202AR12 ,  4F202CA09 ,  4F202CA11 ,  4F202CA15 ,  4F202CA17 ,  4F202CB01 ,  4F202CD22 ,  4G146AA05 ,  4G146AB07 ,  4G146AC15B ,  4G146AC16A ,  4G146AC16B ,  4G146AD14 ,  4G146AD19 ,  4G146AD26 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB23 ,  4G146BC17 ,  4G146BC18 ,  4G146BC27 ,  4K029AA02 ,  4K029AA21 ,  4K029BA34 ,  4K029BB07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB02 ,  4K029DB17 ,  4K029DD06

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 炭素薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-209597   出願人：花王株式会社
• 炭素系硬質被覆層がすぐれた密着性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-285878   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 保護膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-342308   出願人：財団法人理工学振興会
• 硬質カーボン被膜、および該被膜に被覆された部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-085784   出願人：富士電機株式会社
• ガラス成形用金型の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-182727   出願人：ミノルタ株式会社
• 光学用ガラス成形体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-353488   出願人：キヤノン株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Direct observation of sp3 bonding in tetrahedral amorphous carbon using ultraviolet Raman spectrosco