特許
J-GLOBAL ID：201303019194401524
圧電薄膜共振子及び圧電薄膜の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-174032
公開番号（公開出願番号）：特開2013-128267
出願日： 2012年08月06日
公開日（公表日）： 2013年06月27日
要約：
【課題】比帯域や周波数温度特性の設計範囲を拡げることができ、設計の自由度を大幅に高め得る圧電薄膜共振子を得る。【解決手段】厚み方向において、Sc濃度が均一ではない濃度分布を有するSc含有窒化アルミニウムからなる圧電薄膜6と、圧電薄膜6を挟んで対向するように第1及び第2電極5,7が設けられており、圧電薄膜6と第1及び第2の電極5,7とからなる圧電振動部を支持している基板2がさらに備えられている、圧電薄膜共振子1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
厚み方向においてSc濃度が均一ではない濃度分布を有するSc含有窒化アルミニウムからなる圧電薄膜と、
前記圧電薄膜を挟んで対向するように設けられた第1及び第2の電極と、
前記圧電薄膜と、前記第1及び第2の電極とからなる圧電振動部を支持している基板とを備えている、圧電薄膜共振子。
IPC (6件)：
H03H 9/17
, H03H 3/02
, H01L 41/187
, H01L 41/39
, H01L 41/09
, C23C 14/06
H03H9/17 F
, H03H3/02 B
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101J
, H01L41/22 A
, H01L41/08 C
, C23C14/06 A
4K029BA58
, 4K029BB02
, 4K029CA06
, 4K029DC12
, 4K029DC15
, 4K029DC16
, 5J108AA04
, 5J108AA07
, 5J108BB08
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE05
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108HH03
, 5J108JJ01
, 5J108KK01
, 5J108MM08
, 5J108MM11
