特許
J-GLOBAL ID：201303023385603914
有機電界発光デバイス用浸透バリヤー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215684
公開番号（公開出願番号）：特開2000-058258
特許番号：特許第4985898号
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ロールツーロール方式によってフレキシブルな基板上に組み立てられる有機発光デバイスにおいて、水又は酸素がそのソースから当該有機発光デバイスに達するのを防ぐ方法であって、
前記有機発光デバイスと前記ソースとの間に第1のポリマー層を堆積させるステップと、
前記有機発光デバイスの前記第1のポリマー層の上に、ECR-PECVDによって、前記有機発光デバイスが巻き取られる際の薄層裂け又は歪みの発生が防止される低い応力を有する無機層を堆積させるステップと、
前記無機層の上に、第2のポリマー層を堆積させるステップと
からなり、
前記無機層は、均一に分散された、酸素又は水を吸収する金属を更に含む、方法。
IPC (3件)：
H05B 33/04 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
H05B 33/04
, H05B 33/10
, H05B 33/14 A
