特許
J-GLOBAL ID：201303023834928548
焦電型光検出器及び焦電型光検出装置並びに電子機器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 一
, 竹腰 昇
, 黒田 泰
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-013769
公開番号（公開出願番号）：特開2012-118085
特許番号：特許第5240373号
出願日： 2012年01月26日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 焦電型光検出素子と、
前記焦電型光検出素子を支持する支持部と、
前記焦電型光検出素子及び前記支持部を覆い、前記支持部及び前記焦電型光検出素子に還元ガスが侵入することを抑制する第1還元ガスバリア層と、
を有し、
前記焦電型光検出素子は、
電極及び焦電体を含み、前記支持部上に位置するキャパシター、
前記キャパシターの少なくとも側面を覆い、前記キャパシターに還元ガスが侵入することを抑制する第2還元ガスバリア層、
前記第2還元ガスバリア層を覆い、コンタクトホールを有する電気絶縁層、及び、
前記電気絶縁層上に位置し、前記コンタクトホールに充填されるプラグを介して前記キャパシターに接続される電極配線層、を含むことを特徴とする焦電型光検出器。
IPC (2件)：
G01J 1/02 ( 200 6.01)
, H01L 37/02 ( 200 6.01)
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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