特許
J-GLOBAL ID:201303024753885158

支持装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山口 義雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-114463
公開番号(公開出願番号):特開2013-243203
出願日: 2012年05月18日
公開日(公表日): 2013年12月05日
要約:
【課題】反りを有する板状部材を支持する場合でも、吸引漏れを生ずることなく吸引力を確実に作用させて板状部材を吸引して支持することのできる支持装置を提供すること。【解決手段】支持面11内に設けられて板状部材に吸引力を付与する複数の伸縮部材13と、これら伸縮部材13に連通する減圧ポンプ15とを備えて支持装置10が構成されている。伸縮部材13は、一端側を当接面13Cとして支持面11から突出する位置を初期位置としており、反り変形した板状部材WFが載置されたときに、当接面を当接させて吸引力を付与し、支持面11に引き寄せつつ他の伸縮部材13で吸引力を段階的に付与することで、最終的に平面に矯正した状態で板状部材WFを支持するようになっている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
板状部材を支持する支持面と、前記板状部材における被支持面に当接可能な当接手段と、前記当接手段に吸引力を付与する減圧手段とを備えた支持装置において、 前記当接手段は、前記支持面と交差する方向に伸縮可能な伸縮部材と、当該伸縮部材の一端に位置し前記被支持面に当接する当接面とを含み、当該当接面が前記支持面から突出した状態で前記被支持面に当接可能に設けられ、前記板状部材を吸引することで前記伸縮部材が収縮し、前記当接面が前記支持面内に位置して前記板状部材を支持面に密着させて支持することを特徴とする支持装置。
IPC (1件):
H01L 21/683
FI (1件):
H01L21/68 P
Fターム (3件):
5F131AA02 ,  5F131CA07 ,  5F131EB05
引用特許:
審査官引用 (6件)
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