特許
J-GLOBAL ID：201303028816971640

測定装置、形状測定装置、形状測定方法、及び構造物の製造方法

発明者：
中島 康晴

中島 康晴 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-140357
公開番号（公開出願番号）：特開2013-007645
出願日： 2011年06月24日
公開日（公表日）： 2013年01月10日
要約：
【課題】凹部の内側の情報に関する測定精度を向上させる。【解決手段】形状測定装置は、撮像素子5と、複数の光学素子を含み、撮像素子5と共役な共役面10を、複数の光学素子の配列方向に対して鋭角または鈍角の関係となるように形成する結像光学系6と、測定対象面に対して結像光学系6の少なくとも一部を移動可能な走査部と、走査部の位置情報及び撮像素子5の画像情報に基づいて、測定対象面の位置情報を取得する位置情報取得部と、を備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
撮像素子と、 複数の光学素子を含み、前記撮像素子と共役な共役面を、前記複数の光学素子の配列方向に対して鋭角または鈍角の関係となるように形成する結像光学系と、 測定対象面に対して前記結像光学系の少なくとも一部を移動可能な走査部と、 前記走査部の位置情報及び前記撮像素子の画像情報に基づいて、前記測定対象面の位置情報を取得する位置情報取得部と、を備える 形状測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G01B 11/00
FI (2件)：
G01B11/24 K ,  G01B11/00 H
Fターム (28件)：
2F065AA20 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB08 ,  2F065DD03 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF07 ,  2F065FF10 ,  2F065GG02 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL49 ,  2F065LL59 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ44
引用特許：
審査官引用 (7件)
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