特許
J-GLOBAL ID：200903048865118854

位置検出装置、露光装置、及びデバイスの製造方法

発明者：
長山 匡

長山 匡 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-196821
公開番号（公開出願番号）：特開2009-031169
出願日： 2007年07月28日
公開日（公表日）： 2009年02月12日
要約：
【課題】光学部材を駆動することなく、被検面のパターン又は反射率の影響を低減させて、被検面の法線方向の位置情報を検出する。【解決手段】レチクルRの下面上にピンホールA1〜A9の像B1〜B9を形成する送光光学系30Aと、その下面からの反射光を受光してピンホールの像C1〜C9を形成する受光光学系30Bと、像C1〜C9をピンホールD1〜D9を通して検出する光電センサ44と、レチクルRを走査するステージと、レチクルRの走査によって得られる光電センサ44の検出信号に基づいて、レチクルRの下面の一連の計測点のZ方向の位置を求めるRAF制御系52Aとを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被検面の法線方向の位置情報を検出する位置検出装置であって、 前記被検面上に複数の開口の第1の像を所定の基準面に対して異なるデフォーカス量で形成する送光系と、 前記被検面からの反射光を受光して前記複数の開口の第2の像を形成する第1受光系と、 前記複数の開口の第2の像をそれぞれ前記基準面との共役面に対して所定の位置関係の開口を通して検出する第1受光センサと、 前記被検面と前記複数の開口の第1の像とを前記基準面に沿って相対走査する相対走査機構と、 前記相対走査機構によって前記被検面と前記複数の開口の第1の像とを相対走査したときに得られる前記第1受光センサの検出情報に基づいて、前記被検面の法線方向の位置情報を求める演算部と、 を備えることを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G01B11/00 A ,  H01L21/30 525F
Fターム (43件)：
2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065CC18 ,  2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065EE05 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF42 ,  2F065FF55 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07 ,  5F046BA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC16 ,  5F046FA02 ,  5F046FA10 ,  5F046FB01 ,  5F046FB09 ,  5F046FB12 ,  5F046FC05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (20件)
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