特許
J-GLOBAL ID：201303028986625232
給電ユニット、スパッタプラント、スパッタプロセスにおける火花形成の低減方法および部材製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 伊藤 英彦
, 堀井 豊
, 森下 八郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-530893
特許番号：特許第4949584号
出願日： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも一つのHF発生器(5)を含む、スパッタ室(1)内のプラズマ放電(PL)の電気供給用給電ユニットであって、HF発生器(5)がHF用被制御スイッチユニット(13)を含み、前記スイッチユニットにより、HF発生器(5)の出力部(5a)に発生したHF給電信号が少なくとも第一の期間(tA)停止され、前記第一の期間は、HF給電信号が前記出力部にある第二の期間(tB)より短く、
さらにDC発生器(25)が設けられ、その出力信号はHF発生器(5)の出力信号に重畳され、DC発生器(25)はDC用被制御スイッチユニット(33)を含み、それによってDC発生器(25)の出力部に発生されたDC給電信号は少なくとも第三の期間(tC)の間停止され、第三の期間は、DC給電信号が前記出力部に存在する第四の期間(tD)より短いことを特徴とする、給電ユニット。
IPC (4件)：
H05H 1/46 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
, H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, H05H 1/00 ( 200 6.01)
H05H 1/46 R
, C23C 14/34 T
, H01L 21/302 101 G
, H05H 1/00 A
