特許
J-GLOBAL ID:201303031844366150

光学式変位計測装置の計測誤差補正装置および補正方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-271418
公開番号(公開出願番号):特開2013-122428
出願日: 2011年12月12日
公開日(公表日): 2013年06月20日
要約:
【課題】装置全体の複雑化を防止するとともに、光学式変位計測装置の計測誤差補正することができる光学式変位計測装置の計測誤差補正装置および補正方法を提供する。【解決手段】計測誤差補正装置は、光学式変位計測装置から送信された受光位置から層間変位などの計測変位を求め、計測層間変位に対して構造解析モデルを用いた時刻歴変位載荷解析を行う。計測変位と解析結果から得られる推定局部回転角θ(n-1)および推定変位δ(n-1)から、次の推定変位δ(n)を求める。以後、推定変位δ(n-1)と推定変位δ(n)とが収束条件を満たした場合に、推定変位δ(n)を最終推定変位と判定する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
照射光源から照射された光を受光装置によって受光して、外乱による基準位置に対する計測対象位置の変位を検出する光学式変位計測装置における計測誤差を補正する光学式変位計測装置の計測誤差補正装置であって、 前記基準位置および前記計測対象位置が所定の構造体に設定されており、 前記構造体の構造解析モデルを用いて構造解析を実施し、前記構造体における前記基準位置に対する前記計測対象位置の変位である構造解析変位を推定する構造解析変位推定手段と、 前記光学式変位計測装置における計測結果および推定された前記構造解析変位に基づいて、前記光学式変位計測装置の誤差を補正する誤差補正手段と、 を備えることを特徴とする光学式変位計測装置の計測誤差補正装置。
IPC (1件):
G01B 11/00
FI (1件):
G01B11/00 C
Fターム (18件):
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA09 ,  2F065AA19 ,  2F065AA20 ,  2F065AA35 ,  2F065AA65 ,  2F065CC14 ,  2F065DD14 ,  2F065EE06 ,  2F065FF23 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065UU05
引用特許:
審査官引用 (7件)
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引用文献:
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