特許
J-GLOBAL ID：201303033188188218
フォトレジストレリーフイメージの形成方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
特許業務法人センダ国際特許事務所
, 近藤 実
, 橋本 幸治
, 辻永 和徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-063610
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294504
特許番号：特許第4789300号
出願日： 2000年03月08日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 トポグラフィーを有する基体上にフォトレジストレリーフイメージを形成する方法であって、
(a)約8,000以下の分子量(Mw)を有するポリマーを含む反射防止組成物の層を基体上に適用し、ここで、該反射防止組成物は、フェニルまたはベンジル置換されたアントラセン化合物;および複数のアリール置換基を有する化合物から選択される可塑剤化合物をさらに含み、
(b)該反射防止組成物層の上にフォトレジスト組成物の層を適用し、および
(c)活性化放射線により該フォトレジスト層を露光し、露光したフォトレジスト層を現像する、
ことを含む、フォトレジストレリーフイメージを形成する方法。
IPC (7件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/11 ( 200 6.01)
, C08K 5/13 ( 200 6.01)
, C08K 5/3445 ( 200 6.01)
, C08L 33/06 ( 200 6.01)
, C08L 61/20 ( 200 6.01)
, C08L 101/12 ( 200 6.01)
H01L 21/30 574
, H01L 21/30 578
, G03F 7/11 503
, C08K 5/13
, C08K 5/344
, C08L 33/06
, C08L 61/20
, C08L 101/12
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
