特許
J-GLOBAL ID：201303035888319138
粒子測定装置の位置記録システム及び粒子測定装置の位置記録方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-089544
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217805
出願日： 2012年04月10日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】粒子測定装置が所定の位置に配置されているか監視可能な、粒子測定装置の位置記録システムを提供する。【解決手段】クリーンルームの基準位置に設けられた第1の位置情報送信機1から送信される基準位置情報と、クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第2の位置情報送信機2から送信される粒子測定装置の位置情報と、を受信する位置情報受信機3と、基準位置情報及び粒子測定装置の位置情報に基づき、クリーンルームの基準位置に対する粒子測定装置の相対位置を計測する相対位置計測部301と、相対位置の情報を保存する相対位置情報保存部401と、を備える、粒子測定装置の位置記録システム。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
クリーンルームの基準位置に設けられた第1の位置情報送信機から送信される基準位置情報と、前記クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第2の位置情報送信機から送信される前記粒子測定装置の位置情報と、を受信する位置情報受信機と、
前記基準位置情報及び前記粒子測定装置の位置情報に基づき、前記クリーンルームの基準位置に対する前記粒子測定装置の相対位置を計測する相対位置計測部と、
前記相対位置の情報を保存する相対位置情報保存部と、
を備える、粒子測定装置の位置記録システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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