クリーンルーム、荷電粒子線装置及びクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100011
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294492
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】荷電粒子線装置の設置時やメンテナンス時の清浄空間の汚染を抑制する。【解決手段】荷電粒子線装置55をクリーンルームの清浄空間外に配設し、清浄空間を密閉する隔壁51に設けた開口部61に試料を出し入れする搬送路の入り口を接続し、隔壁51の開口部61を介して試料の受け渡しを行う。

請求項（抜粋）：

清浄空間を外部空間から隔てる隔壁を備え、該隔壁に、本体が外部空間側に配設される荷電粒子線装置に対する試料出入り口となる開口部が設けられていることを特徴とするクリーンルーム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H01L 21/02

FI (3件)：

H01L 21/30 541 L , H01L 21/02 D , H01L 21/30 503 G

Fターム (9件)：

5F046AA23 , 5F046AA28 , 5F046BA07 , 5F046CD01 , 5F046CD04 , 5F046CD06 , 5F046DD06 , 5F056EA13 , 5F056EA15

引用特許：

出願人引用 (9件)

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審査官引用 (6件)

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