特許
J-GLOBAL ID：201303038416319575
構造体、その製造方法およびその構造体を用いた撮像装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-107876
公開番号（公開出願番号）：特開2013-050439
出願日： 2012年05月09日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
要約：
【課題】 一般的なX線タルボ干渉法を行う撮像装置に用いられる従来の遮蔽格子の透過部よりもX線の吸収量の小さい透過部を備える遮蔽格子として用いることができる構造体と、その製造方法とを提供する。【解決手段】 構造体の製造方法は、基板1の第1の面10に凹部2を形成する工程と、凹部2に金属を充填して金属構造体3を形成する工程と、基板1から金属構造体30を露出させる工程と、露出した金属構造体3に樹脂を塗布し、樹脂を固化して樹脂層22を形成する工程と、を有する。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
基板の第1の面に凹部を形成する工程と、
前記凹部に金属を充填して金属構造体を形成する工程と、
前記基板から前記金属構造体を露出させる工程と、
露出した前記金属構造体に樹脂を塗布し、前記樹脂を固化して樹脂層を形成する工程と、
を有する構造体の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2G088JJ05
, 2G088JJ12
, 2G088JJ15
, 2G088JJ37
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (12件)
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