特許
J-GLOBAL ID：201303057599234160

微細組立式音叉ジャイロスコープおよび面外回転を検知するための関連する3軸慣性測定システム

発明者：
ワインバーグ,マーク,エス.

ワインバーグ,マーク,エス. について

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バーンステイン,ジョナサン,ジェイ.

バーンステイン,ジョナサン,ジェイ. について

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キルコス,グレゴリー.エー.

キルコス,グレゴリー.エー. について

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リー,トミー,ダブリュー.

リー,トミー,ダブリュー. について

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ペトロビッチ,アンソニー

ペトロビッチ,アンソニー について


出願人/特許権者：
ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド

ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-525413
特許番号：特許第5123455号
出願日： 2000年09月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 微細組立式音叉ジャイロスコープであって、 主平面を規定する基板と、 前記基板によって支持された第1および第2の校正質量とを備え、 前記各校正質量は、前記主平面に平行な第1の軸に沿って反対方向に駆動する振動を許容し、かつ、前記主平面に平行で前記第1の軸と異なる方向に向けられた第2の軸に沿った前記各校正質量の並進を許容する形態で支持されており、 前記並進は、前記各校正質量が前記第1の軸に沿って振動するように駆動されているときに、前記主平面外の軸に関連付けられた角入力に応答して起こるものであり、 前記各校正質量は、前記第2の軸に沿った前記各校正質量の運動の検知に用いる少なくとも1つの開口を含んでおり、 前記各校正質量と電気的に通信して、前記各校正質量を、前記第1の軸に沿って振動させる一方で、前記第2の軸に沿った運動を許容する駆動構造をさらに備え、 該駆動構造は、前記第1の軸に沿って配置された第1、第2、第3および第4の櫛を含んでおり、 前記第1の櫛と前記第2の櫛は、前記第1の軸に沿った反対方向の前記各校正質量の振動を引き起こすように協同動作しており、 前記第3の櫛と前記第4の櫛は、前記引き起こされた前記第1の軸に沿った前記各校正質量の振動を検知するように協同動作しており、さらに、 前記基板によって支持され、かつ、前記第2の軸に沿った前記各校正質量の軸運動に伴って変化するそれぞれの容量を確立させるように前記各校正質量の少なくとも1つの前記開口と協同して形態付けられるような関係をもたせて間隔づけられて配置された指型検知電極と、 前記各校正質量の少なくとも1つの前記開口から延び、かつ、前記指型検知電極と噛み合わせられるように配置された延長電極とを備え、 前記指型検知電極と前記各校正質量は、前記第2の軸に沿った前記各校正質量の差分軸運動に応答して前記容量の差分変化の検出を可能にするように形態付けられている ことを特徴とする微細組立式音叉ジャイロスコープ。
IPC (2件)：
G01C 19/574 ( 201 2.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01C 19/56 240 ,  H01L 29/84 Z
引用特許：
審査官引用 (10件)
  • 共振型角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-334337   出願人：株式会社豊田中央研究所
  • 回転角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-207355   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
  • 回転角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-306238   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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