表面処理装置及び表面処理方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (17件)：蔵田昌俊 , 高倉成男 , 河野哲 , 中村誠 , 福原淑弘 , 峰隆司 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 幸長保次郎 , 河野直樹 , 砂川克 , 井関守三 , 佐藤立志 , 岡田貴志 , 堀内美保子 , 竹内将訓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-096833
公開番号（公開出願番号）：特開2013-224464
出願日： 2012年04月20日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：

【課題】鉄鋼材の耐腐食性・硬度を向上させること。【解決手段】鉄鋼材表面にCr粒子による投射処理及び窒化処理を施す表面処理装置において、チャンバ110内に窒素ガスを導入するガスボンベ160及び流量弁・圧力調整弁161と、チャンバ110内に配置され、鉄鋼材Wを支持する支持部120と、支持部120の周囲に配置され、鉄鋼材Wを加熱する誘導加熱コイル130と、誘導加熱コイル130に高周波電流を供給して鉄鋼材Wを誘導加熱する高周波誘導加熱装置200と、支持部120に向けてCr粒子を噴射させる噴射ノズル140と、投射処理が完了した鉄鋼材Wに窒化処理を施す窒化処理部とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

鉄鋼材表面にこの鉄鋼材を形成する元素と原子半径の差が15%以内の金属粒子による投射処理及び窒化処理を施す表面処理装置において、チャンバと、このチャンバ内に不活性ガスを導入する不活性ガス供給部と、前記チャンバ内に配置され、前記鉄鋼材を支持する支持部と、この支持部の周囲に配置され、前記鉄鋼材を加熱する誘導加熱コイルと、この誘導加熱コイルに高周波電流を供給して前記鉄鋼材を誘導加熱する高周波印加部と、前記支持部に向けて金属粒子を噴射させる投射材噴射部と、前記投射処理が完了した鉄鋼材に窒化処理を施す窒化処理部とを備えていることを特徴とする表面処理装置。

IPC (3件)：

C23C 28/00 , C23C 24/04 , C23C 8/36

FI (3件)：

C23C28/00 B , C23C24/04 , C23C8/36

Fターム (13件)：

4K028BA02 , 4K028BA12 , 4K028BA21 , 4K044AA02 , 4K044AB02 , 4K044BA02 , 4K044BB01 , 4K044BC06 , 4K044CA25 , 4K044CA29 , 4K044CA51 , 4K044CA67 , 4K044CA71

引用特許：

審査官引用 (10件)

表面処理装置及び表面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-280657 出願人：学校法人慶應義塾, 高周波熱錬株式会社
窒化処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-059358 出願人：トヨタ自動車株式会社, 愛知製鋼株式会社
リチウム二次電池
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-331449 出願人：日本碍子株式会社

全件表示

前のページに戻る