MEMS素子およびその製造方法ならびに光スイッチおよび波長選択光スイッチ

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：酒井宏明 , 田代至男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-077900
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205798
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：

【課題】マイクロミラーの意図しない変位が抑制され、光変調特性の低下が抑制されたMEMS素子およびその製造方法ならびに光スイッチおよび波長選択光スイッチを提供すること。【解決手段】互いに隣接するように配列され、表面にミラー面を有する複数のマイクロミラーと、前記複数のマイクロミラーの各ミラー面とは反対側の面に対向して配置された複数の電極と、を備え、前記マイクロミラーは、前記ミラー面を有する本体部と、前記本体部と同一材質からなり、少なくとも前記本体部の幅方向中央において該本体部から前記電極側に突出する突起部とを有するMEMS素子。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

互いに隣接するように配列され、表面にミラー面を有する複数のマイクロミラーと、前記複数のマイクロミラーの各ミラー面とは反対側の面に対向して配置された複数の電極と、を備え、前記マイクロミラーは、前記ミラー面を有する本体部と、前記本体部と同一材質からなり、少なくとも前記本体部の幅方向中央において該本体部から前記電極側に突出する突起部とを有することを特徴とするMEMS素子。

IPC (3件)：

G02B 26/08 , B81B 3/00 , B81C 1/00

FI (3件)：

G02B26/08 E , B81B3/00 , B81C1/00

Fターム (33件)：

2H141MA18 , 2H141MB29 , 2H141MB62 , 2H141MC06 , 2H141MD04 , 2H141MD40 , 2H141ME04 , 2H141ME06 , 2H141ME13 , 2H141ME28 , 2H141MF02 , 2H141MF08 , 2H141MG01 , 2H141MZ03 , 2H141MZ19 , 2H141MZ22 , 2H141MZ25 , 2H141MZ26 , 2H141MZ28 , 3C081AA13 , 3C081BA03 , 3C081BA28 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081BA72 , 3C081CA14 , 3C081CA15 , 3C081CA32 , 3C081DA04 , 3C081DA25 , 3C081EA09

引用特許：

審査官引用 (6件)

MEMS素子とその製造方法、回折型MEMS素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-038696 出願人：ソニー株式会社
空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-298815 出願人：株式会社ニコン
空間的光変調装置とその製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-158722 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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