空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-298815
公開番号（公開出願番号）：特開2011-138046
出願日： 2009年12月28日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。【解決手段】基板と、基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、反射鏡は、反射面と、反射面に交差する面を含み反射面の裏面に配されて反射面に対する曲げ応力に対抗する構造材とを有する。上記空間光変調器において、構造材は、面に更に交差する底面を有してもよい。また、上記空間光変調器において、構造材は、反射面と共に包囲した空間と、当該空間の外部との間を連通させる貫通孔を有してもよい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、前記反射鏡は、反射面と、前記反射面に交差する面を含み前記反射面の裏面に配されて前記反射面に対する曲げ応力に対抗する構造材とを有する空間光変調器。

IPC (5件)：

G02B 26/08 , H01L 21/027 , G03F 7/20 , B81B 3/00 , B81C 1/00

FI (5件)：

G02B26/08 E , H01L21/30 515D , G03F7/20 521 , B81B3/00 , B81C1/00

Fターム (58件)：

2H141MA05 , 2H141MA18 , 2H141MB24 , 2H141MB63 , 2H141MC06 , 2H141MD12 , 2H141MD13 , 2H141MD16 , 2H141MD20 , 2H141MD23 , 2H141MD24 , 2H141MD32 , 2H141MD40 , 2H141ME01 , 2H141ME09 , 2H141MF02 , 2H141MG08 , 2H141MZ06 , 2H141MZ16 , 2H141MZ20 , 2H141MZ25 , 3C081AA07 , 3C081BA01 , 3C081BA28 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA47 , 3C081BA53 , 3C081BA72 , 3C081CA03 , 3C081CA14 , 3C081CA15 , 3C081CA27 , 3C081CA29 , 3C081CA30 , 3C081DA02 , 3C081DA07 , 3C081DA27 , 3C081DA30 , 3C081EA08 , 5F046BA03 , 5F046CB02 , 5F046CB07 , 5F046CB10 , 5F046CB23 , 5F046CB27 , 5F046DA01 , 5F046DB01 , 5F046DC02 , 5F146BA03 , 5F146CB02 , 5F146CB07 , 5F146CB10 , 5F146CB43 , 5F146CB47 , 5F146DA01 , 5F146DB01 , 5F146DC02

引用特許：

審査官引用 (8件)

マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-388179 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
回転変位型光変調素子及びこれを用いた光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-237595 出願人：富士フイルム株式会社
光走査装置とその製造方法、光書込装置、画像形成装置、振動ミラーチップとその製造方法、光走査モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-216250 出願人：株式会社リコー

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