特許
J-GLOBAL ID：201303066134470886

表面波プラズマ処理装置

発明者：
清水 修

清水 修 について

, 
栗本 孝志

栗本 孝志 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-249817
公開番号（公開出願番号）：特開2013-105949
出願日： 2011年11月15日
公開日（公表日）： 2013年05月30日
要約：
【課題】プラズマ密度の均一性を高めることの可能な表面波プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】表面波プラズマ処理装置は、導波管20の誘電窓16と互いに向い合う部位にスロットアンテナ21を備えるとともに、基台12と誘電窓16との間に、遮蔽部32と透過部33とを有する遮蔽部材30を備えている。そして、遮蔽部材30は、載置面の法線方向から見て、スロットアンテナ21のアンテナ部24の面積をS1、アンテナ部24と遮蔽部32との重なる部分の面積をS2、スロットアンテナ21の開口部23の面積をS3、開口部23と遮蔽部32との重なる部分の面積をS4とすると、S2/S1<S4/S3が満たされるように構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板が載置される載置面を有した基台が収容される真空槽と、 前記真空槽に設けられた誘電窓上に配設される導波管とを備え、 前記導波管には、前記誘電窓と互いに向い合う部位にマイクロ波を放射するスロットアンテナが設けられ、該放射されたマイクロ波が前記誘電窓を介して前記真空槽内に伝播する表面波プラズマ処理装置であって、 前記基台と前記誘電窓との間に、遮蔽部と透過部とを有する遮蔽部材を備え、 前記載置面の法線方向から見て、 前記スロットアンテナのアンテナ部の面積をS1、 前記アンテナ部と前記遮蔽部との重なる部分の面積をS2、 前記スロットアンテナにおける1以上の開口からなる開口部の面積をS3、 前記開口部と前記遮蔽部との重なる部分の面積をS4とすると、 S2/S1<S4/S3が満たされる ことを特徴とする表面波プラズマ処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/306 ,  H01L 21/027 ,  H05H 1/46
FI (3件)：
H01L21/302 101D ,  H01L21/30 572A ,  H05H1/46 B
Fターム (10件)：
5F004AA01 ,  5F004BB14 ,  5F004BB18 ,  5F004BB26 ,  5F004BD01 ,  5F004DA24 ,  5F004DA26 ,  5F004DB26 ,  5F004DB27 ,  5F146MA12
引用特許：
審査官引用 (6件)
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