TFT-LCDアレイテスト用の変更可能なプローバ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安齋嘉章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-081227
公開番号（公開出願番号）：特開2013-210635
出願日： 2013年04月09日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：

【課題】電子装置テストシステム用の改良されたプローバを提供する。【解決手段】プローバ400は「変更可能」だが、その意味は、異なる装置レイアウト及び基板サイズに対して、プローバを適合させることができるということである。プローバには、一般に、フレームと、第1の端部及び第2の端部を有する少なくとも1つのプローババーと、フレームに沿った選択可能な箇所でプローババーをフレームに即座に再配置することを可能にするフレーム連結機構と、テスト中に、選択された電子装置をシステムコントローラと電気接続させるための、プローババーに沿った複数の電気接触ピンと、が含まれる。一実施形態において、プローバを用いて、大面積基板上の薄膜トランジスタなどの装置をテストする。電気ピンは、プローババーの軸方向長さに沿って可動であってもよく、基板上の選択された導電領域と接触するために選択的に調節してもよい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子装置テストシステム用の変更可能なプローバであって、フレームと、第1の端部及び第2の端部を有する少なくとも1つのプローババーと、テスト中に、選択された電子装置をシステムコントローラと電気接続させるための、前記少なくとも1つのプローババーに沿った複数のプローブピンと、前記フレームに沿った選択された座標において、前記少なくとも1つのプローババーを、前記フレームに即座に再配置することを可能にするフレーム連結機構であって、前記電子装置が、複数のディスプレイを含む大面積基板上に位置し、前記少なくとも1つのプローババーが、前記対応するプローババーの軸方向長さに沿って選択的に配置された少なくとも2つのプローブヘッドと、選択されたディスプレイと前記システムコントローラとの間の電気接続を提供するために、前記少なくとも2つのプローブヘッドに配置された複数の電気プローブピンと、をさらに含むフレーム連結機構とを含む変更可能なプローバ。

IPC (4件)：

G02F 1/13 , G01R 31/00 , G02F 1/134 , G09F 9/00

FI (4件)：

G02F1/13 101 , G01R31/00 , G02F1/1343 , G09F9/00 352

Fターム (13件)：

2G036AA25 , 2G036BA33 , 2G036CA06 , 2H088FA13 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 2H092MA35 , 2H092MA57 , 2H092NA27 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (7件)

プローブカードを備えた半導体測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283628 出願人：ソニー株式会社
特開平2-013862
液晶基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-356475 出願人：株式会社日本マイクロニクス

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